水射流輔助激光加工技術(shù)中，激光與水射流是兩個(gè)獨(dú)立的單元，水射流可以分為噴灑狀射流和柱狀水射流兩種情況。

M.Geiger等學(xué)者研究了激光與噴灑狀水射流復(fù)合加工技術(shù)。在這種加工技術(shù)中，工件垂直放置，噴灑狀射流灑向工件表面，由于重力的影響在工件表面形成一層流動(dòng)的液體，這種加工方式使加工表面無毛刺現(xiàn)象，同時(shí)相比傳統(tǒng)激光加工技術(shù)形成更小的等離子體。由于等離子體的尺寸小，形成的沖擊波的沖擊力下降，在工件表面幾乎不產(chǎn)生裂紋。

為了提高材料的去除率和冷卻效應(yīng)，使用高壓射流來代替噴灑狀射流。Vago等學(xué)者[p t,t2}研究了一種偏置高壓射流輔助激光復(fù)合切割技術(shù)。在這種加工技術(shù)中，激光束垂直于工件表面，水射傾斜在一旁配合激光進(jìn)行加工。研究發(fā)現(xiàn)，盡管這種加工方式相比傳統(tǒng)激光加工技術(shù)可以將熱影響區(qū)降低70%，但是由于水射流吸收一部分激光能量，導(dǎo)致了切槽的深度降低45% 。

Tafreshi等學(xué)者研究了利用熱震去除方式切割陶瓷材料，利用氣體輔助的CO2激光器加熱材料，水射流滯后在激光器大約4mm的位置處用來快速淬火。由于激光加熱和水射流的快速冷卻，導(dǎo)致壓應(yīng)力和拉應(yīng)力的轉(zhuǎn)化，出現(xiàn)熱震現(xiàn)象。研究發(fā)現(xiàn)，利用熱震方式加工硬脆材料時(shí)，熱影響區(qū)小，切縫寬度小，切割面條紋不明顯。盡管利用熱震的方式加工工件可以切割出的切槽夾角接近0°，但是殘余應(yīng)力和在工件表面的微小裂紋是不可避免的。而且被加工材料的材料特性必須滿足在熱震過程中可以控制裂紋的發(fā)展方向，因此該加工方式只能限制在某些硬脆材料的加工。